三氟化氯（ClF3），相對(duì)分子量為92.45，是一種腐蝕性、無色有甜味的氣體，降溫變?yōu)榫G色液體，即使在低濃度時(shí)也有高度刺激性，具有強(qiáng)氧化性。在高溫時(shí)，三氟化氯能夠點(diǎn)燃許多有機(jī)化合物和許多金屬，遇水產(chǎn)生猛烈反應(yīng)，水解產(chǎn)生有毒物質(zhì)。在半導(dǎo)體工業(yè)中，三氟化氯用于清洗化學(xué)氣相沉積腔室，它可以用于從室壁去除半導(dǎo)體材料，而不必拆卸腔室，不需要使用等離子體的激活，腔室的熱量足以使其分解并與半導(dǎo)體材料反應(yīng)。

產(chǎn)品指標(biāo)

產(chǎn)品用途：

在半導(dǎo)體工業(yè)中，三氟化氯可用于清洗化學(xué)氣相沉積腔室。此外，三氟化氯還可用作氟化劑、燃燒劑、推進(jìn)劑中的氧化劑、高溫金屬的切割油等。        

包裝、貯存：

三氟化氯儲(chǔ)存于標(biāo)準(zhǔn)無縫鋼瓶中，包裝規(guī)格有500g，1kg，2kg。具體包裝規(guī)格可根據(jù)用戶要求定制更改。三氟化氯儲(chǔ)存于陰涼